手机浏览器扫描二维码访问
第659章 光刻机里的DPP方案（第2页）
……
……
两天后，陈平江已经从沪上赶往了祖国的最北端。
在哈工大的校园里，陈平江见到了赵永鹏。
“哈哈，陈董，虽是初次见面，却已经神交已久啊。”
赵永鹏亲热的同陈平江握手。
陈平江笑眯眯道：“赵教授不必客气叫我小陈就好，今天我过来是特意对您的卓越贡献表示感谢的。”
陈平江说不用客气，赵永鹏哪里敢真的叫他小陈，只当是客套话。
“军功章也应当有你的一半，如果不是之前您的资助和多方面协助，我们也不会如此顺利。”
赵永鹏招招手，“我们去实验室看看。”
陈平江来到哈工大，之前已经和校方打过招呼，希望低调处理，这才没有引起围观。
这次过来完全是因为赵永鹏团队顺利研发出“放电等离子体极紫外光刻光源”
的缘故。
这个项目，陈平江已经跟了好几年，前后资助不下2000万，并且表示不要任何知识产权，如今终于到了开花结果的时候。
宽敞明亮的实验室内。
陈平江身着无尘服，戴着口罩仔细听着赵永鹏介绍。
“在演示之前，我有必要说下。
这台机器的光源焦点功率只有43瓦，与asml的最近两代EUV光源250-500瓦，差距还是巨大的，目前只能称之为实验室阶段，不过我们团队有信心，在两年内将功率提升到200瓦。”
陈平江点了点头，表示理解。
毕竟在EUV中光源也只是一部分，还需要其他十万个零件一起协同配合。
但不管怎么说，也搞定了最关键的一个部分。
在当前的EUV光刻机技术上，存在两种光刻机技术路线。
一种是DPP方案（放电产生等离子体），一种是LPP方案（激光产生等离子体）。
当前全球唯一一家能生产EUV光刻机，垄断了全球高端光刻机市场的公司——荷兰ASML公司，采用的就是LPP方案。
哈工大的这个“放电等离子体极紫外光刻光源”
，从名字上就能看出它走的是DPP方案。
DPP方案最大的一个问题就是光源的焦点功率不足。
光刻机的光源是用来烧石头（单晶硅）的，功率不足自然就烧不动，也就没法蚀刻出芯片。
好在，因为专利的限制，当前中国走DPP方案的EUV光刻机研究，是要比走LPP方案容易的。
虽然当前DPP方案还无法商用，暂且无法用在EUV光刻机身上，但DPP方案技术是会进步的。
DPP方案本身优势也不小，比如光源稳定、对清洁度要求低，以及成本更低。
并且，陈平江也不会将鸡蛋放在一个篮子里。
除了哈工大这头，XX光电所和沪上某家研究所都有资助，大家进度不一，路线也不同。
任何一方取得最终突破，都会大大提前国产EUV光刻机问世的时间。
麋芳不投降：大哥别打了！ 人在大明，无法无天 长生自元阳尽泄开始 每日签到：我在诡异世界当捕快 玄幻：我的机缘每日刷新 末日！别人求生，我游山玩水 半岛恋爱定格 家父雷电法师 阴间直播间：封我账号？我揍你爹 重生高武：不当怨种后，悔哭黑丝女神 遭遇过打击的股神 说好练武，你一拳爆星什么鬼？ 这个导演全能但有病 短跑：这位冠军有点怪 斗罗：我有一剑，可无敌于世间 我主不朽 侦探秦仁杰 修仙，觉醒情报系统 凡人后 四合院：虐爆众禽，我反手娶于莉
我是月卡党
曾经备受好评的游戏率土更新了宝物系统，破坏了现有游戏的生态，引起了大批玩家不满。一场玩家与游戏公司的博弈就此展开。坚持抵制本次更新的游戏玩家胡力，在卸载游戏app的时候却意外回到了2年前，那个他刚刚接触率土的日子。如果您喜欢我是月卡党，别忘记分享给朋友...
蛊界：我非魔尊，乃是仙尊
林苏来到异世界，开局救下洪易，获得在众生书院开窍的机会，从此踏上超凡之路。运用前世的记忆经验与知识，林苏吃三方资源，迅速突破，挣脱束缚，潜龙升天。...
无限气运主宰
穿越异界，成为帝国唯一继承人，日后更可继承皇位，没毛病，这很主角！只可惜时不我待，晚生了十几年，未能力挽狂澜于国破家亡之前！只能无奈沦为囚犯，被困樊笼不得逃脱！好在有诸天万界作为后盾，更可用气运兑换诸多功法宝物！那还有什么好说的？苏景拿出了自己的气运值，一通买买买什么？气运值过低会导致被世界排斥变的很倒霉？更...
强取豪夺：二少，求放过
强取豪夺二少，求放过简介emspemsp关于强取豪夺二少，求放过顾寻安又灌下满满一杯蓝色鸡尾酒，酒精冲上天灵盖，思绪整个陷入了眩晕和轻飘里，纤细的身子摇摇晃晃的，她眯着眼睛搜寻到了今晚的目标。吧台边上，姿态从容优雅的坐着一个西装男，身量高挑，双腿修长，酒吧昏暗迷离的灯光洒落在他侧脸上，深刻的勾勒出他俊美深邃的五官，尤其是那双斜飞的眉眼，冷峻而神秘，勾得顾寻安眩晕的心脏砰砰直跳。女人，本少就是要宠你到天荒地老。...
心灵之窗：治疗爱情的心理学
女主是初中历史老师，男主是女主学生的舅舅，男主外甥父母是集团总裁都忙，没空管孩子，男主外甥调皮，经常被叫家长，女主男主由此认识，男主职业心理咨询师，男主以治疗一个个具体个案为基础讲解运用哪些心理学专业知识及治疗方法，涉及青春期的孩子，反社会人格的孩子，人格分裂精神分裂，以及讲解监狱的犯人早期人格形成的问题，婚姻咨询...
漫威的公主终成王
无论做错什么都会被原谅，因为我实在是太美了！一个魔法公主的全新世界之旅。一个融合了诸多影视作品和游戏的漫威世界。Ps老扑街了，质量有保证。Ps群号639，265，715如果您喜欢漫威的公主终成王，别忘记分享给朋友...